国家知识产权局信息显示，泉意光罩光电科技（济南）有限公司取得一项名为“一种清洗设备及清洗系统”的专利，授权公告号CN224463300U，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本申请提供一种清洗设备及清洗系统，涉及半导体加工技术领域。该清洗设备包括：清洗台，清洗台用于放置待清洗产品；兆频超声清洗喷嘴，兆频超声清洗喷嘴用于清洗待清洗产品的正面；背面清洗喷嘴，背面清洗喷嘴用于清洗待清洗产品的背面；清洗液存储箱，清洗液存储箱用于存储清洗液，清洗液存储箱通过管路与兆频超声清洗喷嘴和背面清洗喷嘴连通；加热装置，加热装置用于对清洗液存储箱内的清洗液加热。该清洗设备增加了加热装置对清洗液进行加热，使得喷射到待清洗产品正面和背面的清洗液均为加热后的清洗液，再配合兆频超声清洗喷嘴的兆频超声清洗，使得该清洗设备的除脏污能力明显提升。
天眼查资料显示，泉意光罩光电科技（济南）有限公司，成立于2020年，位于济南市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本479531.25万人民币。通过天眼查大数据分析，泉意光罩光电科技（济南）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目41次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息58条，此外企业还拥有行政许可57个。
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