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鹏煊智能取得晶圆切割后超声波去毛刺清洗设备专利,避免晶圆过度移动确保超声波均匀作用

2026年09月08日 05:34
 

国家知识产权局信息显示,湖北鹏煊智能科技发展有限公司取得一项名为“一种晶圆切割后超声波去毛刺清洗设备”的专利,授权公告号CN224265879U,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体制造设备技术领域,且公开了一种晶圆切割后超声波去毛刺清洗设备,该装置为了解决晶圆在清洗过程中堆积导致清洗不彻底的问题;本实用新型中,通过上筒体、下筒体、卡扣、卡槽、第一限位块以及第二限位块,当装载晶圆时,通过上筒体和下筒体的铰接,灵活开启,放置晶圆,清洗作业时通过卡扣与卡槽卡接形成相对封闭空间,既保证清洗液与晶圆充分接触,又防止晶圆漏出,上筒体和下筒体内壁分别焊接的第一限位块和第二限位块,在筒体闭合时对晶圆限位,避免晶圆过度移动,确保超声波均匀作用。

天眼查资料显示,湖北鹏煊智能科技发展有限公司,成立于2023年,位于武汉市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本10万人民币。通过天眼查大数据分析,湖北鹏煊智能科技发展有限公司共对外投资了1家企业,专利信息1条。

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